※ 제품 특징 ※
 

 


☞  RK1600시리즈의 KOFLOC은 작고 재현성 및 안정성이 높아 신뢰도가 높습니다.

☞  대학교 및 연구소에서 주로 소유량의 실험용으로 가장 많이 사용되는 제품입니다.

☞  용도 :  분석기, 환경계측기, 반도체장비, 퍼지시스템등에 사용됩니다.





 
(※국산제작도 가능함.)





※ Standard Specifications ※


Fluids
Air,N2,O2,H2,He,Ar,and CO2
(Calibration by actual gas)
For other gases,consultation is necessary regarding whether conversion conditions or calibration by actual gas is to be used.
Flow range(Full scale)
10ml,50ml,100ml,200ml,500ml,1L,2L,3L,5L,10L,15L,20L/min
Accuracy
FS±5%(Measurement point)
Proof pressure
0.8MPa for 5L/MIN or less
0.5MPa for 10 L/MIN or more
Available scale
10:1
Materials
S
BS
Body block and some other components
SUS304
SUS303
Brass
Tapered tube
Pyrex
Packing
Viton
NBR
Float
Pyrex,SUS316
Protective cover
Acrylic resin
(Heat resistance)
120°C
70°C
Connection end
Rc1/8(Standard);Rc1/4(Optional)